真空鍍膜技術

PVDPhysical vapor deposition)物理氣相沉積技術:在真空條件下,用物理的方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜製作技術。主要方法包括蒸鍍、濺鍍和離子鍍。





一. PVD 設備結構

1.真空腔體

2.氣體控制系統

3.真空幫浦系統

4.真空計

5.電源供應器

6.靶材(蒸鍍與濺鍍)





二. PVD 鍍膜技術

1. 蒸鍍

在高真空的腔體中,放入所要蒸鍍的材料,利用電熱絲或電子束加熱升溫達到熔化、氣化溫度,使材料蒸發,附著在基板表面上的技術。

                                


2.濺鍍

(sputtering)是在真空條件下通入惰性氣體,利用高電壓將高能量粒子轟擊靶材表面,將靶材表面的物質濺出附著堆積在基板或薄膜上。
如圖,在真空狀態下通入惰性氣體(一般多為氬氣)及施加高電壓,電場解離成電漿能,高能量的粒子(正離子Ar+)轟擊於陰極上的靶材,使原子或得足夠能量克服原有鍵結而脫離靶材,最後附著於基板形成薄膜。

                

    

                

三. PVD鍍膜膜層特性

1.高硬度、高耐磨性、低摩擦係數

2.耐腐蝕性佳、化學穩定性

3.使用年限更長

4.大幅度提高外觀耐用性能


四. PVD鍍膜膜層優點

1.厚度約在0.8μm~2μm之間

2.不影響工件原先尺寸

3.鍍後不需要再加工

4.無汙染

5.顏色變化多

6.附著性佳、硬度、耐磨性與品質較好

7.適合鍍合金材料


五. PVD與傳統水電鍍比較



PVD  水電鍍  
表面結合力
★★★★
★★★
硬度
★★★★
★★
表面平滑度
★★★
★★
耐磨耗性
★★★★
★★
耐腐蝕性
★★★
★★
膜層的性能
★★★★

環保
★★★★★