真空鍍膜技術
PVD(Physical vapor deposition)物理氣相沉積技術:在真空條件下,用物理的方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜製作技術。主要方法包括蒸鍍、濺鍍和離子鍍。
一. PVD 設備結構
1.真空腔體
2.氣體控制系統
3.真空幫浦系統
4.真空計
5.電源供應器
6.靶材(蒸鍍與濺鍍)
二. PVD 鍍膜技術
1. 蒸鍍
在高真空的腔體中,放入所要蒸鍍的材料,利用電熱絲或電子束加熱升溫達到熔化、氣化溫度,使材料蒸發,附著在基板表面上的技術。
2.濺鍍
濺鍍(sputtering)是在真空條件下通入惰性氣體,利用高電壓將高能量粒子轟擊靶材表面,將靶材表面的物質濺出附著堆積在基板或薄膜上。
如圖,在真空狀態下通入惰性氣體(一般多為氬氣)及施加高電壓,電場解離成電漿能,高能量的粒子(正離子Ar+)轟擊於陰極上的靶材,使原子或得足夠能量克服原有鍵結而脫離靶材,最後附著於基板形成薄膜。
三. PVD鍍膜膜層特性
1.高硬度、高耐磨性、低摩擦係數
2.耐腐蝕性佳、化學穩定性
3.使用年限更長
4.大幅度提高外觀耐用性能
四. PVD鍍膜膜層優點
1.厚度約在0.8μm~2μm之間
2.不影響工件原先尺寸
3.鍍後不需要再加工
4.無汙染
5.顏色變化多
6.附著性佳、硬度、耐磨性與品質較好
7.適合鍍合金材料
五. PVD與傳統水電鍍比較
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PVD | 水電鍍 |
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表面結合力 |
★★★★ |
★★★ |
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硬度 |
★★★★ |
★★ |
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表面平滑度 |
★★★ |
★★ |
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耐磨耗性 |
★★★★ |
★★ |
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耐腐蝕性 |
★★★ |
★★ |
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膜層的性能 |
★★★★ |
★ |
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環保 |
★★★★★ |
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